Моделирование диффузионных процессов производства силовых полупроводниковых приборов
author
Annus, Arno
Bachverk, Aleksander
statement of authorship
А. Аннус, А. Бахверк
source
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 14
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1976
pages
с. 139-144 : илл
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 409
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 14
series variant title
TPI Toimetised ; 409
Труды ТПИ ; 409
url
https://www.ester.ee/record=b2190768*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/aa35e320-87b1-405b-9cac-3b90c51867d1
subject term
jõuseadised
pooljuhtseadised
tootmine
protsessid
modelleerimine (teadus)
TalTech subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
notes
Библиогр. : 13 назв
Summary: Modeling of diffusion processes of the production of power semiconductor devices
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
automaatika kateeder
language
vene