Установка для многократного анодного окисления полупроводников
author
Gavrilov, Aleksei
statement of authorship
А.А. Гаврилов
source
Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1986
pages
с. 73-78 : ил
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620
Полупроводниковые материалы ; 7
series variant title
TPI Toimetised ; 620
Труды ТПИ ; 620
url
https://www.ester.ee/record=b1296001*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/65e24755-71eb-4a99-b9fe-e1308121ed89
subject term
pooljuhtseadised
oksüdatsioon
anoodid
TalTech subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
ISSN
0136-3549
0320-3395
notes
Библиогр. : 4 назв
Abstract: Apparatus for reiterative anodic oxidation of semiconductors
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
füüsika kateeder
language
vene