Системное исследование влияния технологического микроклимата на качество интегральных микросхем

author
statement of authorship
Ю.П. Рятсеп
location of publication
Таллин
year of publication
pages
с. 53-58 : илл
ISSN
0136-3549
0320-3441
notes
Библиогр. : 5 назв
Summary: Evaluation of influence of the plant environment parameters on the quality of integrated circuits
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
language
vene