Изменение параметров интегральных схем при анализе в растровом электронном микроскопе
author
Meiler, Boriss
statement of authorship
Б. Мейлер
source
Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1986
pages
с. 85-92 : ил
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620
Полупроводниковые материалы ; 7
series variant title
TPI Toimetised ; 620
Труды ТПИ ; 620
url
https://www.ester.ee/record=b1296001*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/65e24755-71eb-4a99-b9fe-e1308121ed89
subject term
integraallülitused
parameetrid
elektronmikroskoobid
lahused
analüüs
TalTech subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
ISSN
0136-3549
0320-3395
notes
Библиогр. : 8 назв
Abstract: The degradation of integrated circuits parameters during the analysis in the scanning electron micriscope
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
füüsika kateeder
language
vene