Испульсное легирование кремния в сильноточном газовом разряде
author
statement of authorship
А. А. Гаврилов, Г. А. Качурин
source
Письма в Журнал технической физики
journal volume number month
т. 8, вып. 7
year of publication
pages
с. 388-391
subject term
ISSN
0330-0116
notes
Библиогр. 6 назв.
TalTech department
language
vene
Гаврилов, А., Качурин, Г. Испульсное легирование кремния в сильноточном газовом разряде // Письма в Журнал технической физики (1982) т. 8, вып. 7, с. 388-391.