Исследование возможности оценки и контроля влияния загрязненности атмосферы в полупроводниковом производстве [Текст] : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.12.11
author
statement of authorship
Ээрик Антонович Хансен
type of dissertation
kandidaaditöö
university/scientific institution
Московский энергетический институт
Moskva Energeetikainstituut
location of publication
Москва
publisher
year of publication
subject term
name of the institution
Moskva Energeetikainstituut
subject of form
notes
Ээрик Антонович Хансен, 1928-1981
Kaitsmine: Московский энергетический институт = Moskva Energeetikainstituut 01.06.1973, kinnitatud 30.11.1973, tehnikakandidaat
language
vene
Хансен, Э. Исследование возможности оценки и контроля влияния загрязненности атмосферы в полупроводниковом производстве [Текст] : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.12.11. Москва : [б. и.], 1973.