Исследование возможности оценки и контроля влияния загрязненности атмосферы в полупроводниковом производстве [Текст] : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.12.11

author
statement of authorship
Ээрик Антонович Хансен
type of dissertation
kandidaaditöö
university/scientific institution
Московский энергетический институт
Moskva Energeetikainstituut
location of publication
Москва
publisher
year of publication
name of the institution
Moskva Energeetikainstituut
subject of form
notes
Ээрик Антонович Хансен, 1928-1981
Kaitsmine: Московский энергетический институт = Moskva Energeetikainstituut 01.06.1973, kinnitatud 30.11.1973, tehnikakandidaat
language
vene
Хансен, Э. Исследование возможности оценки и контроля влияния загрязненности атмосферы в полупроводниковом производстве [Текст] : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.12.11. Москва : [б. и.], 1973.