К решению некоторых задач на имитационной модели технологического процесса производства полупроводниковых приборов

statement of authorship
А. Кийтам
location of publication
Таллин
year of publication
pages
с. 143-151
notes
Библиогр. : 9 назв
Summary: On solution of some problems using simulation model of technological process producing semiconductor devices
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
language
vene