К решению некоторых задач на имитационной модели технологического процесса производства полупроводниковых приборов
author
Kiitam, Andres
statement of authorship
А. Кийтам
source
Анализ и моделирование технических устройств и систем АСУТП
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1977
pages
с. 143-151
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 432
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 15
series variant title
TPI Toimetised ; 432
Труды ТПИ ; 432
url
https://www.ester.ee/record=b2190987*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/b7c66054-0b4f-4684-9453-442bc7e6e200
subject term
pooljuhtseadised
tootmistehnoloogia
mudelid
TalTech subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
notes
Библиогр. : 9 назв
Summary: On solution of some problems using simulation model of technological process producing semiconductor devices
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
automaatika kateeder
language
vene