Создание и свойства высокоомных эпитаксиальных слоев кремния большой площади
author
statement of authorship
Я.А. Винналь, К.Г. Кыверик, М.Т. Тарма
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 3
conference name, date
Республиканская научно-техническая конференция, посвященной 80-летию со дня изобретения радио А. С. Поповым, 1975
conference location
Таллинн
subject term
TTÜ department
language
vene
Винналь, Я., Кыверик, К., Тарма, М. Создание и свойства высокоомных эпитаксиальных слоев кремния большой площади // Тезисы докладов республиканской научно-технической конференции, посвященной 80-летию со дня изобретения радио А. С. Поповым. Таллин : Министерство связи Эстонской ССР, 1975. с. 3.