Низкотемпературный отжиг слаболегированных слоев n-4H-SiC после облучения быстрыми электронами

author
Kozlovski, Vitali
Lebedev, Alexander
statement of authorship
Корольков O.M., Козловский В.B., Лебедев A.A., Слепчук Н., Toompuu J., Rang T.
journal volume number month
вып. 7
year of publication
pages
с. 991-994
subject term
keyword
карбид кремния
облучение электронами
радиационные дефекты
отжиг
ISSN
0015-3222
notes
Bibliogr.: 17 ref
language
vene