Моделирование технологических операций на участке боралюминиевой диффузии технологического процесса производства силовых полупроводниковых приборов
author
Annus, Arno
Bachverk, Aleksander
Kalm, Evald
Kiitam, Andres
Võrk, Jaan
statement of authorship
А.А. Аннус, А.Г. Бахверк, Э.П. Калм, А.А. Кийтам, Я.М. Вырк
source
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 13
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1975
pages
с. 187-192 : илл
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 387
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 13
series variant title
TPI Toimetised ; 387
title
series
Труды ТПИ ; 387
title
series
url
https://www.ester.ee/record=b2190710*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/ffbd63ed-06d6-4bbb-9468-118f743cc87f
subject term
jõuseadised
pooljuhtseadised
tootmistehnoloogia
protsessid
matemaatiline modelleerimine
TalTech subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
notes
Библиогр.: 7 назв
Summary: Modeling of technological operations on the division of boron-aluminium diffusion of power semiconductor devices producing technological process
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
automaatika kateeder
language
vene