Моделирование технологических операций на участке боралюминиевой диффузии технологического процесса производства силовых полупроводниковых приборов

statement of authorship
А.А. Аннус, А.Г. Бахверк, Э.П. Калм, А.А. Кийтам, Я.М. Вырк
location of publication
Таллин
year of publication
pages
с. 187-192 : илл
notes
Библиогр.: 7 назв
Summary: Modeling of technological operations on the division of boron-aluminium diffusion of power semiconductor devices producing technological process
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
language
vene