print

Способ химической пульверизации при изготовлении тонких пленок

author
Türn, Leo
Reiter, Erik
source
Физическая химия соединений А//II//В//VI//
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1987
pages
с. 40-43
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 652
Полупроводниковые материалы ; 8
series variant title
TPI Toimetised ; 652
Труды ТПИ ; 652
TTÜ subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
notes
Библиогр. : 4 назв
language
vene
Тюрн, Л.И., Рейтер, Э.К. Способ химической пульверизации при изготовлении тонких пленок // Физическая химия соединений А//II//В//VI//. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1987. с. 40-43. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 652, Полупроводниковые материалы ; 8).