О моделировании участка механообработки кремния при создании АСУТП силовых полупроводниковых приборов

statement of authorship
А.А. Аннус, Э.П. Калм, А.Р. Кивистик, В.Э.-В. Ринк, Я.М. Вырк
location of publication
Таллин
year of publication
pages
с. 193-202 : илл
notes
Библиогр.: 1 назв
Zusammenfassung: Über die Modellierung des Abschnitts der mechanischen Siliziumbearbeitung beim Erarbeiten des automatischen Steuerungssystems des technologischen Prozesses der Starkstromhalbleitergeräteherstellung
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
language
vene