О моделировании участка механообработки кремния при создании АСУТП силовых полупроводниковых приборов
author
Annus, Arno
Kalm, Evald
Kivistik, Alar
Rink, V.
Võrk, Jaan
statement of authorship
А.А. Аннус, Э.П. Калм, А.Р. Кивистик, В.Э.-В. Ринк, Я.М. Вырк
source
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 13
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1975
pages
с. 193-202 : илл
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 387
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 13
series variant title
TPI Toimetised ; 387
title
series
Труды ТПИ ; 387
title
series
url
https://www.ester.ee/record=b2190710*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/ffbd63ed-06d6-4bbb-9468-118f743cc87f
subject term
jõuseadised
pooljuhtseadised
modelleerimine (teadus)
TalTech subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
notes
Библиогр.: 1 назв
Zusammenfassung: Über die Modellierung des Abschnitts der mechanischen Siliziumbearbeitung beim Erarbeiten des automatischen Steuerungssystems des technologischen Prozesses der Starkstromhalbleitergeräteherstellung
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
automaatika kateeder
language
vene