Система контроля микроклимата в производстве интегральных схем
author
statement of authorship
Э. А. Хансен, М. Э. Пуусепп
journal volume number month
2 (4)
year of publication
pages
с. 88-92
subject term
TTÜ department
language
vene
Хансен, Э., Пуусепп, М. Система контроля микроклимата в производстве интегральных схем // Электронная промышленность : ЭП : научно-технический сборник (1971) 2 (4), с. 88-92.