Кайпоксин, Л., Пуусеп, Ю., Рятсеп, Ю., Тээвет, Дж.-Т.

Влияние технологического микроклимата на качество изделий микроэлектроники

author

Kaipoksin, L.

Puusepp, Ü.

Rätsep, Ülo

Teevet, J.-T.

statement of authorship

Кайпоксин, Л., Пуусеп, Ю., Рятсеп, Ю., Тээвет, Дж.-Т.

source

Электронная промышленность : ЭП : научно-технический сборник

publisher

ЦНИИ "Электроника"

journal volume number month

year of publication

1983

pages

с. 76-79 : илл

url

https://www.ester.ee/record=b1802011*est

subject term

mikroelektroonika

mikrokliima

ISSN

0207-6357

notes

Библиогр.: 2 назв.

TTÜ department

raadiotehnika kateeder

language

vene

Кайпоксин, Л., Пуусеп, Ю., Рятсеп, Ю., Тээвет, Дж.-Т. Влияние технологического микроклимата на качество изделий микроэлектроники // Электронная промышленность : ЭП : научно-технический сборник (1983) 2, с. 76-79 : илл. https://www.ester.ee/record=b1802011*est