Моделирование диффузионных процессов производства силовых полупроводниковых приборов
autor
Annus, Arno
Bachverk, Aleksander
vastutusandmed
А. Аннус, А. Бахверк
allikas
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 14
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1976
leheküljed
с. 139-144 : илл
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 409
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 14
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 409
Труды ТПИ ; 409
leitav
https://www.ester.ee/record=b2190768*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/aa35e320-87b1-405b-9cac-3b90c51867d1
märksõna
jõuseadised
pooljuhtseadised
tootmine
protsessid
modelleerimine (teadus)
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
märkused
Библиогр. : 13 назв
Summary: Modeling of diffusion processes of the production of power semiconductor devices
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
automaatika kateeder
keel
vene