Szilicium planar technologiai eljaras szamitögepes stimulacioja

vastutusandmed
T. Rang, K. Tarnay, F. Masszi, J. Mizsei, P. Baji, Kovacs, G. Drozdy
allikas
Finommechanika, mikrotechnika: az Optikai, Akusztikai és Filmtechnikai Egyesület, a Híradástechnikai Tudományos Egyesület és a Méréstechnikai és Automatizálási Tudományos Egyesület lapja
kirjastus/väljaandja
ajakirja aastakäik number kuu
vol. 18, no. 9
ilmumisaasta
leheküljed
p. 257-260
ISSN
0231-2662
TTÜ struktuuriüksus
keel
ungari