Метод исследования комплексного влияния параметров технологического микроклимата на качество полупроводниковых интегральных микросхем
autor
Rätsep, Ülo
vastutusandmed
Рятсеп, Ю. П.
allikas
Тезисы докладов Республиканской научно-технической конференции "Современные методы и устройства радиоэлектронного оборудования", посвященной Дню радио. Секция: полупроводниковые приборы
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
[Эстонское республиканское правление научно-технического общества радиотехники, электроники и связи им. А. С. Попова]
ilmumisaasta
1981
leheküljed
с. 81-82
konverentsi nimetus, aeg
Современные методы и устройства радиоэлектронного оборудования, посвященной Дню радио, ноябрь 1980
konverentsi toimumispaik
Таллин
leitav
https://www.ester.ee/record=b1310801*est
märksõna
integraallülitused
kvaliteet
elektroonikatööstus
tööruumid
mikrokliima
sisekliima
puhtus
TTÜ struktuuriüksus
raadiotehnika kateeder
keel
vene