Influence of post-UV/ozone treatment of ultrasonic-sprayed zirconium oxide dielectric films for a low-temperature oxide thin film transistor
autor
Oluwabi, Abayomi Titilope
Gaspar, Diana
Katerski, Atanas
Mere, Arvo
Krunks, Malle
Pereira, Luis
Oja Acik, Ilona
vastutusandmed
Abayomi Titilope Oluwabi, Diana Gaspar, Atanas Katerski, Arvo Mere, Malle Krunks, Luis Pereira and Ilona Oja Acik
allikas
Materials
kirjastus/väljaandja
MDPI
ajakirja aastakäik number kuu
vol. 13, 1
ilmumisaasta
2020
leheküljed
art. 6, 14 p. : ill
leitav
https://doi.org/10.3390/ma13010006
märksõna
õhukesed kiled
pihustamine
madalad temperatuurid
võtmesõna
spray pyrolysis
low-temperature
zirconium oxide
Indium-Gallium-Zinc-Oxide
UV-ozone
high-κ dielectrics
thin film transistor
ISSN
1996-1944
märkused
Bibliogr.: 47 ref
Open Access
Open Access
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
1.1
Scopus
Journal metrics at Scopus
Article at Scopus
WOS
Journal metrics at WOS
Article at WOS
kategooria (üld)
Physics and astronomy
en
Füüsika ja astronoomia
et
Materials science
en
Materjaliteadus
et
kategooria (alam)
Physics and astronomy. Condensed matter physics
en
Füüsika ja astronoomia. Kondenseeritud aine füüsika
et
Materials science. General materials science
en
Materjaliteadus. Üldine materjaliteadus
et
kvartiil
Q1
TTÜ struktuuriüksus
materjali- ja keskkonnatehnoloogia instituut
keel
inglise
Uurimisrühm
Keemiliste kiletehnoloogiate teaduslabor