Mechanical and tribological properties of 100-nm thick alumina films prepared by atomic layer deposition on Si(100) substrates
autor
Alamgir, Asad
Bogatov, Andrei
Yashin, Maxim
Podgurski, Vitali
vastutusandmed
Asad Alamgir, Andrei Bogatov, Maxim Yashin, and Vitali Podgursky
allikas
Proceedings of the Estonian Academy of Sciences
kirjastus/väljaandja
Estonian Academy Publishers
ajakirja aastakäik number kuu
vol. 68, 2
ilmumisaasta
2019
leheküljed
p. 126-130 : ill
konverentsi nimetus, aeg
Modern Materials and Manufacturing 2019 (MMM 2019), April 24-26, 2019
konverentsi toimumispaik
Tallinn
leitav
https://doi.org/10.3176/proc.2019.2.01
http://www.kirj.ee/public/proceedings_pdf/2019/issue_2/proc-2019-2-126-130.pdf
märksõna
alumiiniumoksiid
õhukesed kiled
nanostruktuursed materjalid
mehaanilised omadused
deformatsioon
võtmesõna
nanoindentation
alumina oxide thin films
atomic layer deposition
nano-scratch
deformations
ISSN
1736-6046
märkused
Kokkuvõte: Si(100) substraatidele aatomkihtsadestamisel valmistatud 100 nm paksusega Al2O3kilede mehaanilised ja triboloogilised omadused
Bibliogr.: 13 ref
Open Access
Open Access
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
1.1
Scopus
https://www.scopus.com/sourceid/11500153303
https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85067627412&origin=inward&txGid=0bb8821b27addd5fa2ff92ca1f3661f9
WOS
https://jcr.clarivate.com/jcr-jp/journal-profile?journal=P%20EST%20ACAD%20SCI&year=2022
https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000467872000002
kategooria (üld)
Engineering
Tehnika
kategooria (alam)
Engineering. General engineering
Tehnika. Üldine inseneriteadus
kvartiil
Q2
TTÜ struktuuriüksus
mehaanika ja tööstustehnika instituut
keel
inglise