Comparative study of siox layers deposition using thermal and uv-assisted curing of perhydropolysilazane

vastutusandmed
Elizaveta Shmagina, Sergei Bereznev
ilmumiskoht
Tartu
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
P 50
konverentsi nimetus, aeg
GSFMT Scientific Conference 2021, June 14-15, 2021
konverentsi toimumispaik
Tartu
Open Access
Open Access
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
5.2
keel
inglise