Electrochemical evaluation of TiN coatings
autor
Rudenja, Sergei
Kulu, Priit
Talimets, Ellen
Mikli, Valdek
Straede, C.A.
Zwieg, T.
vastutusandmed
S. Rudenja, P. Kulu, E. Talimets, V. Mikli, C.A. Straede and T. Zwieg
allikas
Proceedings of the Symposium on Interconnect and Contact Metallization
ilmumiskoht
Pennington
kirjastus/väljaandja
The Electrochemical Society
ilmumisaasta
1998
leheküljed
p. 108-119 : ill
seeria-sari
The Electrochemical Society proceedings ; Vol. 97, 31
märksõna
elektrokeemia
kattematerjalid
ISSN
0161-6374
ISBN
1-56677-184-6
märkused
Bibliogr.: 30 ref
keel
inglise