Mechanical properties of aluminum, zirconium, hafnium and tantalum oxides and their nanolaminates grown by atomic layer deposition
autor
Jõgiaas, Taivo
Zabels, Roberts
Tamm, Aile
Merisalu, Maido
Hussainova, Irina
vastutusandmed
Taivo Jõgiaas, Roberts Zabels, Aile Tamm, Maido Merisalu, Irina Hussainova, ... [et al.]
allikas
Surface and coatings technology
ajakirja aastakäik number kuu
Vol. 282
ilmumisaasta
2015
leheküljed
p. 36-42 : ill
leitav
http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2015.10.008
märksõna
nanomaterjalid
mehaanilised omadused
aatomkihtsadestamine
õhukesed kiled
võtmesõna
instrumented nano-indentation
metal oxide nano-laminates
mechanical properties
thin film
atomic layer deposition
ISSN
0257-8972
märkused
Bibliogr.: 30 ref
TTÜ struktuuriüksus
materjalitehnika instituut
keel
inglise