Mechanical properties of aluminum, zirconium, hafnium and tantalum oxides and their nanolaminates grown by atomic layer deposition

vastutusandmed
Taivo Jõgiaas, Roberts Zabels, Aile Tamm, Maido Merisalu, Irina Hussainova, ... [et al.]
ajakirja aastakäik number kuu
Vol. 282
ilmumisaasta
leheküljed
p. 36-42 : ill
võtmesõna
instrumented nano-indentation
metal oxide nano-laminates
ISSN
0257-8972
märkused
Bibliogr.: 30 ref
TTÜ struktuuriüksus
keel
inglise