Strain relaxation mechanism in the Si-SiO2 system and its influence on the interface properties

vastutusandmed
D.Kropman, E.Mellikov, A.Öpik, K.Lott, O.Volobujeva, T.Kärner, I.Heinmaa, T.Laas, A.Medvid
allikas
Radiation Interaction with Materials and its use in Technologies : Kaunas, 24-27.09.2008
ilmumiskoht
Kaunas
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
p. 204-207