Установка для многократного анодного окисления полупроводников
autor
Gavrilov, Aleksei
vastutusandmed
А.А. Гаврилов
allikas
Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1986
leheküljed
с. 73-78 : ил
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620
Полупроводниковые материалы ; 7
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 620
Труды ТПИ ; 620
leitav
https://www.ester.ee/record=b1296001*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/65e24755-71eb-4a99-b9fe-e1308121ed89
märksõna
pooljuhtseadised
oksüdatsioon
anoodid
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
ISSN
0136-3549
0320-3395
märkused
Библиогр. : 4 назв
Abstract: Apparatus for reiterative anodic oxidation of semiconductors
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
füüsika kateeder
keel
vene