Исследование влияния технологического микроклимата в производстве интегральных микросхем : автореферат ... кандидата технических наук (05.12.18)
autor
juhendaja
vastutusandmed
Юло Петерович Рятсеп ; [научный руководитель: М.Э. Пуусепп] ; Таганрогский радиотехнический институт
dissertatsiooni liik
kandidaaditöö
ülikool/teadusasutus
Таганрогский радиотехнический институт
ilmumiskoht
Таганрог
kirjastus/väljaandja
[Таганрогский радиотехнический институт]
ilmumisaasta
leheküljed
23 c. : ил
märksõna
asutuse kohta
Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д. Калмыкова
vormimärksõna
märkused
Рятсеп, Юло Петерович, 1943-1994
[работа выполнена на кафедре радиотехники ТПИ]
Библиогр. с. 22-23
Ametialaseks kasutamiseks
Kaitsmine: Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д. Калмыкова = Taganrogi Raadiotehnika Instituut 5.12.1983 ; kinnitatud ; tehnikakandidaat
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
Рятсеп, Ю. Исследование влияния технологического микроклимата в производстве интегральных микросхем : автореферат ... кандидата технических наук (05.12.18). Таганрог : [Таганрогский радиотехнический институт], 1983. 23 c. : ил.