prindi

Идентификация последовательности термических операций диффузионной технологии производства силовых полупроводниковых приборов

autor
Bachverk, Aleksander
vastutusandmed
А. Бахверк
allikas
Анализ и моделирование технических устройств и систем АСУТП
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1977
leheküljed
с. 135-142 : илл
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 432
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 15
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 432
Труды ТПИ ; 432
leitav
https://www.ester.ee/record=b2190987*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/b7c66054-0b4f-4684-9453-442bc7e6e200
märksõna
pooljuhtseadised
jõuseadised
difusioon (füüsika)
tootmistehnoloogia
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
märkused
Библиогр. : 5 назв
Summary: Identification of thermal operations sequence of diffusion technology in power semiconductor devices production
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
automaatika kateeder
keel
vene
Бахверк, А. Идентификация последовательности термических операций диффузионной технологии производства силовых полупроводниковых приборов // Анализ и моделирование технических устройств и систем АСУТП. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1977. с. 135-142 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 432, Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 15). https://www.ester.ee/record=b2190987*est https://digikogu.taltech.ee/et/Item/b7c66054-0b4f-4684-9453-442bc7e6e200