Методы исследования исходных полупроводниковых материалов и эпитаксиальных структур
autor
Mere, Arvo
Paat, Aadu
Rusalep, Ervin
Uder, Ülo-Olimar
vastutusandmed
А. Л. Мере, А. А. Паат, Э. И. Рузалеп, Ю. Ф. Удер
allikas
Применение эпитаксиальной технологии в производстве силовых полупроводниковых приборов : сборник материалов Всесоюзного научно-технического семинара. Часть 2
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
ЭстНИИНТИ
ilmumisaasta
1978
leheküljed
с. 173-180
konverentsi nimetus, aeg
Применение эпитаксиальной технологии в производстве силовых полупроводниковых приборов, 1978
konverentsi toimumispaik
Таллин
leitav
https://www.ester.ee/record=b1273255*est
märksõna
pooljuhtmaterjalid
pooljuhtstruktuurid
epitaksiaalkiled
märkused
Библиогр. 8 назв.
TTÜ struktuuriüksus
füüsika kateeder
keel
vene