Изменение параметров интегральных схем при анализе в растровом электронном микроскопе
autor
Meiler, Boriss
vastutusandmed
Б. Мейлер
allikas
Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1986
leheküljed
с. 85-92 : ил
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620
Полупроводниковые материалы ; 7
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 620
Труды ТПИ ; 620
leitav
https://www.ester.ee/record=b1296001*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/65e24755-71eb-4a99-b9fe-e1308121ed89
märksõna
integraallülitused
parameetrid
elektronmikroskoobid
lahused
analüüs
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
ISSN
0136-3549
0320-3395
märkused
Библиогр. : 8 назв
Abstract: The degradation of integrated circuits parameters during the analysis in the scanning electron micriscope
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
füüsika kateeder
keel
vene