prindi

Структура и глубина нарушенного слоя при грубой абразивной обработке монокристаллического кремния

autor
Meiler, Boriss
Hatskevitš, M.
Ladotškin, A.
Fomin, V.
vastutusandmed
Б.Л.Мейлер, М.М.Хацкевич, А.А.Ладочкин, В.Г.Фомин
allikas
Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised
ajakirja aastakäik number kuu
707
ilmumisaasta
1990
leheküljed
lk. 60-71: ill
märksõna
monokristallid
räni
struktuur
ISSN
0868-4081
märkused
Bibl. 9 nim
retsensioon
Abstract: B.Meiler, V.Hatskevitch, A.Ladochkin, V.Fomin. The structure and depth of the damaged layer of monocrystalline silicon after rough abrasive treatment
Kokkuvõte: Jämeda abrasiiviga lihvitud monokristalse räni rikutud kihi struktuur ja sügavus
keel
vene
Мейлер Б.Л., Хацкевич М.М., Ладочкин А.А., Фомин В.Г. Структура и глубина нарушенного слоя при грубой абразивной обработке монокристаллического кремния // Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised (1990) 707, lk. 60-71: ill.