Влияние облучения низкоэнергетическими электронами в растровом электронном микроскопе на параметры полупроводниковых приборов
autor
Meiler, Boriss
Kropman, Daniel
Levtšenkova, Alla
vastutusandmed
Б. Мейлер, Д. Кропман, А. Левченкова
allikas
Микроэлектроника
kirjastus/väljaandja
Наука
ajakirja aastakäik number kuu
Т. 16, 2
ilmumisaasta
1987
leheküljed
с. 165-169 : илл
leitav
https://www.ester.ee/record=b2147720*est
märksõna
lahused
elektronid
elektronmikroskoobid
pooljuhtseadised
ISSN
0544-1269
märkused
Библиогр.: 9 назв
TTÜ struktuuriüksus
füüsika kateeder
materjaliteaduse instituut
keel
vene