prindi

Silicon planar technology process modeling

autor
Rang, Toomas
Tarnay, K.
Masszi, F.
vastutusandmed
T. Rang, K. Tarnay, F. Masszi, J. Mizsei, P. Baji, G. Drozdy, B. Kovacs
allikas
Test methods in electronics technology : third International Spring Seminar on Electronics Technology, May 15-18, 1979, Balatonfüred, Hungary
ilmumiskoht
Budapest
kirjastus/väljaandja
[s.n]
ilmumisaasta
1979
leheküljed
p. 110-120
konverentsi nimetus, aeg
Third International Spring Seminar on Electronics Technology, May 15-18, 1979,
konverentsi toimumispaik
Balatonfüred, Hungary
märksõna
pooljuhtide tehnoloogia
TTÜ struktuuriüksus
elektroonika kateeder
keel
inglise
Rang, T., Tarnay, K., Masszi, F. et al. Silicon planar technology process modeling // Test methods in electronics technology : third International Spring Seminar on Electronics Technology, May 15-18, 1979, Balatonfüred, Hungary. Budapest : [s.n], 1979. p. 110-120.