Импульсно-плазменное легирование кремния сурьмой
vastutusandmed
А.А. Гаврилов, Г.А. Качурин
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 15-28 : ил
seeria-sari
seeria variantpealkiri
leitav
ISSN
0136-3549
0136-3581
märkused
Библиогр. : 15 назв
Summary: The plasma-impulse doping of silicon with antimony
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
märksõna
TTÜ märksõna
klassifikaator
Гаврилов, А.А., Качурин, Г.А. Импульсно-плазменное легирование кремния сурьмой // Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1983. с. 15-28 : ил. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 545, Полупроводниковые материалы ; 5).