Изучение ошибок модели управления технологического процесса создания силовых полупроводниковых структур

autor
vastutusandmed
Сакс Э. К.
ilmumiskoht
Таллин
ilmumisaasta
leheküljed
с. 71-72
konverentsi nimetus, aeg
Современные методы и устройства радиоэлектронного оборудования, Республиканская научно-техническая конференция, 1981
konverentsi toimumispaik
Таллин
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene