Испульсное легирование кремния в сильноточном газовом разряде
autor
Gavrilov, Aleksei
Katšurin, G.A.
vastutusandmed
А. А. Гаврилов, Г. А. Качурин
allikas
Письма в Журнал технической физики
ajakirja aastakäik number kuu
т. 8, вып. 7
ilmumisaasta
1982
leheküljed
с. 388-391
leitav
https://www.ester.ee/record=b2142356*est
märksõna
räni
legeerimine
gaaslahendused
ISSN
0330-0116
märkused
Библиогр. 6 назв.
TTÜ struktuuriüksus
füüsika kateeder
keel
vene