Atomic layer deposition for hard nanocoatings
autor
Jõgiaas, Taivo
Kollo, Lauri
Hussainova, Irina
vastutusandmed
Taivo Jõgiaas, ..., Lauri Kollo, ... Irina Hussainova, ... [et al.]
allikas
Baltic ALD 2014 : 12th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition : May 12-13, 2014, Helsinki, Finland
ilmumiskoht
[S.l.]
ilmumisaasta
2014
leheküljed
p. 91-92
konverentsi nimetus, aeg
12th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition, May 12-13, 2014
konverentsi toimumispaik
Helsinki, Finland
märksõna
nanomaterjalid
õhukesed katted
aatomkihtsadestamine
TTÜ struktuuriüksus
materjalitehnika instituut
keel
inglise