Silicon integrated circuit fabrication process modeling and simulation
autor
Rang, Toomas
Tarnay, K.
Mizsei, Janos
vastutusandmed
T. Rang, K. Tarnay, J. Mizsei, P. Baji, B. Kovacs, G. Drozdy
allikas
Periodica polytechnica. Electrical engineering = Электротехника
kirjastus/väljaandja
Akademiai Kiado
ajakirja aastakäik number kuu
vol. 24, no. 1-2
ilmumisaasta
1980
leheküljed
p. 109-113
leitav
https://www.ester.ee/record=b1198855*est
märksõna
pooljuhtide tehnoloogia
integraallülitused
ISSN
0324-6000
TTÜ struktuuriüksus
elektroonika kateeder
keel
inglise