К решению некоторых задач на имитационной модели технологического процесса производства полупроводниковых приборов
autor
vastutusandmed
А. Кийтам
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 143-151
seeria-sari
seeria variantpealkiri
leitav
märksõna
TTÜ märksõna
märkused
Библиогр. : 9 назв
Summary: On solution of some problems using simulation model of technological process producing semiconductor devices
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
Кийтам, А. К решению некоторых задач на имитационной модели технологического процесса производства полупроводниковых приборов // Анализ и моделирование технических устройств и систем АСУТП. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1977. с. 143-151. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 432, Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 15).