Экспериментальное исследование статики температурных полей в горизонтальной реакционной камере эпитаксиального наращивания

autor
vastutusandmed
А.А. Аннус, У.П. Верги, Э.Х. Пинт
ilmumiskoht
Москва
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 39-43
seeria variantpealkiri
Сборник научно-технических статей (Elektrotehnika Teadusliku Uurimise Instituut) ; вып. 14
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene