Экспериментальное исследование статики температурных полей в горизонтальной реакционной камере эпитаксиального наращивания
autor
Annus, Arno
Vergi, U.
Pint, E.
vastutusandmed
А.А. Аннус, У.П. Верги, Э.Х. Пинт
allikas
Автоматика и вычислительная техника : [сборник статей]
ilmumiskoht
Москва
kirjastus/väljaandja
Энергия
ilmumisaasta
1971
leheküljed
с. 39-43
seeria-sari
Сборник научно-технических статей / Научно-исследовательский и проектно-технологический институт систем планирования и управления в электропромышленности (НИПТИ) ; вып. 14
seeria variantpealkiri
Сборник научно-технических статей (Elektrotehnika Teadusliku Uurimise Instituut) ; вып. 14
leitav
https://www.ester.ee/record=b2083970*est
märksõna
tööstuslikud protsessid
epitaksia
temperatuur
staatika
eksperimendid
TTÜ struktuuriüksus
automaatika kateeder
keel
vene