Structural and electrical characterisation of high-k ZrO2 thin films deposited by chemical spray pyrolysis method
autor
Oluwabi, Abayomi Titilope
Oja Acik, Ilona
Katerski, Atanas
Mere, Arvo
Krunks, Malle
vastutusandmed
Abayomi T. Oluwabi, Ilona Oja Acik, Atanas Katerski, Arvo Mere, Malle Krunks
allikas
Thin Solid Films
kirjastus/väljaandja
Elsevier
ajakirja aastakäik number kuu
Vol. 662
ilmumisaasta
2018
leheküljed
p. 129 - 136
leitav
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2018.07.035
märksõna
pihustamine
õhukesed kiled
dielektrilised omadused
oksiidid
võtmesõna
chemical spray pyrolysis
dielectric properties
high-k oxides
thin films
zirconium oxide
ISSN
0040-6090
märkused
Bibliogr.: 36 ref
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
1.1
Scopus
https://www.scopus.com/sourceid/12347
https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85050861714&origin=resultslist&sort=plf-f&src=s&sid=4e20fc566512faafe6a1b2ec2b66583e&sot=b&sdt=b&s=DOI%2810.1016%2Fj.tsf.2018.07.035%29&sl=25&sessionSearchId=4e20fc566512faafe6a1b2ec2b66583e&relpos=0
WOS
https://jcr.clarivate.com/jcr-jp/journal-profile?journal=THIN%20SOLID%20FILMS&year=2022
https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000441428800020
kategooria (üld)
Materials science
Materjaliteadus
Physics and astronomy
Füüsika ja astronoomia
kategooria (alam)
Materials science. Metals and alloys
Materjaliteadus. Metallid ja sulamid
Physics and astronomy. Surfaces and interfaces
Füüsika ja astronoomia. Pinnad ja liidesed
Materials science. Surfaces, coatings and films
Materjaliteadus. Pinnad, katted ja kiled
Materials science. Materials chemistry
Materjaliteadus. Materjalide keemia
Materials science. Electronic, optical and magnetic materials
Materjaliteadus. Elektroonilised, optilised ja magnetilised materjalid
kvartiil
Q2
TTÜ struktuuriüksus
materjali- ja keskkonnatehnoloogia instituut
keel
inglise
Uurimisrühm
Õhukesekileliste energiamaterjalide teaduslabor
,
Keemiliste kiletehnoloogiate teaduslabor (kuni 28.02.2023)