Study of ion implanted Fe depth distribution in Si after pulsed ion beam treatment

vastutusandmed
Ch.Angelov, S.Georgiev, B.Amov, E.Goranova, V.Mikli, I.Dezsi, E.Kotai
ajakirja aastakäik number kuu
9
ilmumisaasta
leheküljed
2, p. 307-310
ISSN
1454-4164
keel
inglise