Atomic layer deposition of high-k dielectrics on carbon nanoparticles
autor
Tamm, Aile
Koel, Mihkel
Peikolainen, Anna-Liisa
vastutusandmed
Aile Tamm, Anna-Liisa Peikolainen, ..., Mihkel Koel, ... [et al.]
allikas
Thin solid films
ajakirja aastakäik number kuu
538
ilmumisaasta
2013
leheküljed
p. 16-20 : ill
märksõna
süsinikuühendid
nanostruktuursed materjalid
nanoosakesed
aatomkihtsadestamine
võtmesõna
carbon nanoparticles
atomic layer deposition
laminated nanostructure
ISSN
0040-6090
märkused
Bibliogr.: 15 ref
TTÜ struktuuriüksus
keemiainstituut
keel
inglise