Система контроля микроклимата в производстве интегральных схем
autor
Hansen, Eerik
Puusepp, Märt
vastutusandmed
Э. А. Хансен, М. Э. Пуусепп
allikas
Электронная промышленность : ЭП : научно-технический сборник
ajakirja aastakäik number kuu
2 (4)
ilmumisaasta
1971
leheküljed
с. 88-92
leitav
https://www.ester.ee/record=b1802011*est
märksõna
mikroskeemid
tootmine
mikrokliima
parameetrid
TTÜ struktuuriüksus
raadiotehnika kateeder
keel
vene