Rapid prototyping of silicon structures by aid of laser and abrasive-jet machining
autor
Kruusing, Arvi
Leppävuori, Seppo
Uusimäki, Antti
Uusimäki, M.
vastutusandmed
Arvi Krusing, Sepo Lepävuori, Antti Uusimäki, Mati Uusimäki
allikas
Design, Test and Microfabrication of MEMS and MOEMS : 30 March-1 April, 1999, Paris, France
ilmumiskoht
[S.l.]
kirjastus/väljaandja
SPIE
ilmumisaasta
1999
leheküljed
p. 870-878 : ill
seeria-sari
Proceedings of SPIE ; 3680, 2
leitav
https://opticalengineering.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/3680/0000/Rapid-prototyping-of-silicon-structures-by-aid-of-laser-and/10.1117/12.341285.full
märksõna
räni
mikrostruktuur
prototüüpimine
vedelikud
aparaadid
lasertöötlus
lasertehnoloogia
võtmesõna
laser machining
abrasive-jet machining
silcon microstructures
ISSN
0277-786X
märkused
Bibliogr.: 35 ref
keel
inglise