Методика анализа воспроизводимости технологических процессов изготовления силовых полупроводниковых приборов
autor
Annus, Arno
Voronina, J.
Kivistik, Alar
Pleskunin, V.
Post, R.
vastutusandmed
А. Аннус, Е. Воронина, А. Кивистик, В. Плескунин, Р. Пост
allikas
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 14
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1976
leheküljed
с. 145-154 : илл
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 409
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 14
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 409
Труды ТПИ ; 409
leitav
https://www.ester.ee/record=b2190768*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/aa35e320-87b1-405b-9cac-3b90c51867d1
märksõna
jõuseadised
pooljuhtseadised
tehnoloogia
protsessid
analüüs
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
märkused
Библиогр. : 3 назв
Summary: Technique of reproducibility analysis for technological process producing power semiconductor devices
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
automaatika kateeder
keel
vene