Структура и глубина нарушенного слоя при грубой абразивной обработке монокристаллического кремния
Meiler, Boriss
;
Hatskevitš, M.
;
Ladotškin, A.
;
Fomin, V.
Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised
1990
/
lk. 60-71: ill