Low-K factor of SiO2 layer on Si irradiated by YAG:Nd laser
autor
vastutusandmed
A.Medvid, P.Onufrijevs, E.Mellikov, D.Kropman, F.Muktepavela, G.Bakradze
ajakirja aastakäik number kuu
353
ilmumisaasta
leheküljed
p. 703-707 : ill
märksõna
ISSN
0022-3093
märkused
Bibliogr.: 13 ref
keel
inglise
Medvid, A., Onufrijevs, P., Mellikov, E., Kropman, D., Muktepavela, F., Bakradze, G.* Low-K factor of SiO2 layer on Si irradiated by YAG:Nd laser // Journal of non-crystalline solids (2007) 353, p. 703-707 : ill.