Численное моделирование технологического процесса полупроводниковых приборов

autor
ilmumiskoht
Таллин
ilmumisaasta
leheküljed
с. 33-37
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 538
Труды ТПИ ; 538
märkused
Библиогр. : 5 назв
keel
vene