Отжиг имплантированных слоев кремния в плазме импульсного газового разряда
autor
Gavrilov, Aleksei
Katšurin, G.A.
vastutusandmed
А. А. Гаврилов, Г. А. Качурин
allikas
Физика и техника полупроводников = Physics and technics of semiconductors
ajakirja aastakäik number kuu
т. 15, вып. 6
ilmumisaasta
1981
leheküljed
с.1232-1234
leitav
https://www.ester.ee/record=b1263919*est
märksõna
räni
pooljuhtide tehnoloogia
plasma
ISSN
0015-3222
märkused
Библиогр. 5 назв.
TTÜ struktuuriüksus
füüsika kateeder
keel
vene