Jõgiaas, T., Zabels, R., Tamm, A., Merisalu, M., Hussainova, I. et al.

prindi

Mechanical properties of aluminum, zirconium, hafnium and tantalum oxides and their nanolaminates grown by atomic layer deposition

autor

Jõgiaas, Taivo

Zabels, Roberts

Tamm, Aile

Merisalu, Maido

Hussainova, Irina

vastutusandmed

Taivo Jõgiaas, Roberts Zabels, Aile Tamm, Maido Merisalu, Irina Hussainova, ... [et al.]

allikas

Surface and coatings technology

ajakirja aastakäik number kuu

Vol. 282

ilmumisaasta

2015

leheküljed

p. 36-42 : ill

leitav

http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2015.10.008

märksõna

nanomaterjalid

mehaanilised omadused

aatomkihtsadestamine

õhukesed kiled

võtmesõna

instrumented nano-indentation

metal oxide nano-laminates

mechanical properties

thin film

atomic layer deposition

ISSN

0257-8972

märkused

Bibliogr.: 30 ref

TTÜ struktuuriüksus

materjalitehnika instituut

keel

inglise

Jõgiaas, T., Zabels, R., Tamm, A., Merisalu, M., Hussainova, I. et al. Mechanical properties of aluminum, zirconium, hafnium and tantalum oxides and their nanolaminates grown by atomic layer deposition // Surface and coatings technology (2015) Vol. 282, p. 36-42 : ill. http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2015.10.008