prindi

Термообработка пластин кремния с нарушенным слоем

autor
Meiler, Boriss
Ladotškin, A.
Fomin, V.
vastutusandmed
Б.Л.Мейлер, А.А.Ладочкин, В.Г.Фомин
allikas
Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised
ajakirja aastakäik number kuu
707
ilmumisaasta
1990
leheküljed
lk. 72-86: ill
märksõna
plaadid
räni
termiline töötlemine
ISSN
0868-4081
märkused
Bibl. 9 nim
retsensioon
Abstract: B.Meiler, A.Ladochkin, V.Fomin. Annealing of monocrystalline silicon slices with damaged layer
Kokkuvõte: Räniplaatide rikutud kihi termotöötlus
keel
vene
Мейлер Б.Л., Ладочкин А.А., Фомин В.Г. Термообработка пластин кремния с нарушенным слоем // Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised (1990) 707, lk. 72-86: ill.